| PZT压电厚膜的飞秒激光烧蚀及图形化研究 |
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| 引用本文： | 刘爽,褚家如,黄文浩,李保家. PZT压电厚膜的飞秒激光烧蚀及图形化研究[J]. 中国科学技术大学学报, 2010, 40(10). DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2010.10.004 |
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| 作者姓名： | 刘爽 褚家如 黄文浩 李保家 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国科学院知识创新工程方向性项目资助 |
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| 摘 要： | 利用飞秒激光实现了对PZT厚膜(十几至上百微米)材料的精确烧蚀和图形化研究.飞秒激光脉宽为130fs,重复频率为1kHz.首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系,得到飞秒激光烧蚀PZT厚膜的能量阈值为100J/cm2,然后利用功率为50～300mW的飞秒激光对PZT压电厚膜进行烧蚀和图形化研究.结合飞秒激光加工的无热影响和无掩膜等特性,在一定的扫描控制下,可以实现对PZT厚膜高精度和高效率的加工.最后,在功率为300mW、扫描速率为5mm/s条件下实现了对PZT厚膜驱动器的图形化.经测试表明,图形化以后,PZT驱动器驱动性能有明显(30%)地提高.
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| 关 键 词： | 飞秒激光 PZT 图形化 驱动器 |
Ablation and micromachining of PZT thick films using femtosecond laser |
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| LIU Shuang,CHU Jiaru,HUANG Wenhao,LI Baojia. Ablation and micromachining of PZT thick films using femtosecond laser[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2010, 40(10). DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2010.10.004 |
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| Authors: | LIU Shuang CHU Jiaru HUANG Wenhao LI Baojia |
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