| 合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究 |
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| 引用本文： | 张德根,胡训美. 合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究[J]. 皖西学院学报, 2014, 0(5) |
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| 作者姓名： | 张德根 胡训美 |
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| 作者单位： | 皖西学院基础实验中心,安徽六安,237012 |
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| 基金项目： | 六安市定向委托皖西学院市级研究项目(2012LW005)。 |
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| 摘 要： | 利用SRIM2013软件，分别模拟计算了3组合金靶材Fe-Cr、Cu-Ni和Au-Ag在氩离子入射时的溅射产额，根据计算结果得出3组合金均存在择优溅射现象，择优溅射与金属原子的表面结合能有关的结论。同时模拟了 Au-Ag合金的溅射产额随入射离子能量和合金成分的变化情况，并分析其择优溅射机制。
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| 关 键 词： | 择优溅射 SRIM 溅射产额 合金 |
The Simulation Study of the Alloy Target's Preferential Sputtering by SRIM Software |
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| ZHANG Degen,HU Xunmei. The Simulation Study of the Alloy Target's Preferential Sputtering by SRIM Software[J]. Journal of Wanxi University, 2014, 0(5) |
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| Authors: | ZHANG Degen HU Xunmei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | preferential sputtering SRIM sputtering yield alloy |
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