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| β-FeSi2半导体薄膜的研究进展 | |
| 作者姓名： | 周幼华 童恒明 乔燕 |
| 作者单位： | 江汉大学,物理与信息工程学院,武汉,430056;武汉市东西湖区教育局,武汉,430040 |
| 基金项目： | 自然科学基金(10604018)，高等学校博士学科点专项科研基金(20060487006) |
| 摘 要： | 综述了半导体β-FeSi2薄膜的制备、薄膜的表征、能带的特点、电学、光学性质等方面的研究进展,讨论了几种用于Si衬底上外延生长β-FeSi2薄膜方法的优缺点,分析了制备高品质β-FeSi2薄膜所存在的理论和技术上的难题,展望了β-FeSi2薄膜作为新光电材料的应用前景. |
| 关 键 词： | β-FeSi2 半导体薄膜 Si基发光 |
| 文章编号： | 1673-0143（2007）02-0026-04 |
| 修稿时间： | 2007-01-16 |
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