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| 脉冲激光沉积过程中TiO2等离子体状态诊断及薄膜特性的研究 | |
| 引用本文： | 王源,高亚青,蔡芸丽,苏茂根,董晨钟.脉冲激光沉积过程中TiO2等离子体状态诊断及薄膜特性的研究[J].西北师范大学学报,2024(2):51-57. |
| 作者姓名： | 王源 高亚青 蔡芸丽 苏茂根 董晨钟 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(11874051)； |
| 摘 要： | 脉冲激光沉积技术由于具有较高的沉积速率和良好的兼容性,已广泛应用于各种纳米薄膜材料的制备.探究激光等离子体状态与沉积薄膜特性之间的关系,有助于进一步调控与优化脉冲激光技术对薄膜材料的沉积.本文将等离子体状态诊断与沉积薄膜性能相结合,讨论了不同脉冲激光能量下等离子体状态对沉积薄膜性能的影响.结果表明,低烧蚀能量下产生的等离子体更有助于获得质地更好,且与靶材晶相一致的优良薄膜材料.该结果也为探索和调控沉积过程提供参考. |
| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 激光等离子体诊断 光学发射光谱 TiO2薄膜表征 |