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| 方形硼硅膜在压力作用下形变的ANSYS仿真 | |
| 作者单位： | 厦门大学嘉庚学院机电工程系，福建省招商局漳州开发区福建漳州363105 福建厦门361000 |
| 摘 要： | 本文给出了一种用计算机软件ANSYS分析微传感器中的传感元—硼硅膜在压力作用下形变的方法。 |
| 关 键 词： | 硼硅膜 形变 ANSYS仿真 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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