| 光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究 |
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| 引用本文： | 王菊香,李柱. 光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1994, 0(10) |
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| 作者姓名： | 王菊香 李柱 |
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| 作者单位： | 华中理工大学机械科学与工程学院 |
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| 摘 要： | 应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达１ｎｍ，可实现对表面Ｒａ从０．１６μｍ至０．０１μｍ的精确测量。在测试分析位移－电压动态响应特性基础上，讨论了微位移调制误差对仪器精度的影响，提出了改善响应线性度的方法，使仪器在工作频率范围内响应的线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量槽度。
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| 关 键 词： | PZT，微位移，锯齿波调制，表面粗糙度 |
On Micro-Displacement Modulation in an Optical Profilometer |
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| Wang Juxiang,Li Zhu. On Micro-Displacement Modulation in an Optical Profilometer[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1994, 0(10) |
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| Authors: | Wang Juxiang Li Zhu |
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| Affiliation: | Wang Juxiang;Li Zhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PZT micro-displacement saw-wave modulation surface roughness |
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