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| 酸碱滴定法测定GaP半导体工艺中所掺N浓度的研究 | |
| 作者姓名： | 李智慧 李宝军 |
| 作者单位： | 甘肃教育学院教务处，甘肃教育学院物理系 兰州，730000，兰州，730000 |
| 摘 要： | 本文将酸碱滴定法用于 GaP 半导体器件的生产中,测定了半导体工艺中所掺微量元素N 的含量.结果准确,精度高,从而实现了半导体中掺 N 浓度的控制. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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