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激光三角法轮廓测量
引用本文:张吉华 庄葆华. 激光三角法轮廓测量[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 1995, 28(2): 265-269
作者姓名:张吉华 庄葆华
基金项目:国家自然科学基金,天津市自然科学基金
摘    要:研制了一种激光单光点式三角法测头,以半导体激光器作光源,位置敏感器件为光电转换器件,测头的测量分辨率2μm,测量范围10mm。适于对工件,模型表面轮廓或位移量进行快速在线测量,对测头结构进行了优化分析,对牙模型的三维形貌进行了实例。

关 键 词:激光三角法 位敏探测器 轮廓测量 在线检测

LASER TRIANGULATION PROFILE MEASUREMENT
Zhang Jihua,Zhuang Baohua,Jiang Chengzhi,Meng Qingyi,Zhang Wenwei. LASER TRIANGULATION PROFILE MEASUREMENT[J]. Journal of Tianjin University(Science and Technology), 1995, 28(2): 265-269
Authors:Zhang Jihua  Zhuang Baohua  Jiang Chengzhi  Meng Qingyi  Zhang Wenwei
Affiliation:Dept.of Precision Instruments Eng.
Abstract:
Keywords:laser triangulation  position sensitive ditector (PSD)  profile measurement
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