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| 硅基PMMA/SiO2-ZrO2有机-无机复合光波导的制备研究 | |
| 作者姓名： | 王哲哲 赵高扬 林林 冯卓宏 郑志强 |
| 作者单位： | 福建师范大学物理与能源学院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51202033、11204039);福建省科技厅资助项目(JK2011008);福建省教育厅科技项目(JA13084);校管项目(IRTL1203) |
| 摘 要： | 构建了一种硅基PMMA/SiO2-ZrO2有机-无机复合光波导结构,采用溶胶-凝胶法在硅基底上制备厚度约17μm的PMMA薄膜作为包层材料,在硅基PMMA上制备了具有紫外感光性的SiO2-ZrO2基有机-无机复合芯层薄膜.测得PMMA和SiO2-ZrO2基复合薄膜在光纤常用通讯窗口0.85,1.31,1.55μm波长附近的折射率差比δ分别为4.81%,4.55%,4.50%.利用芯层材料自身的感光性,结合紫外辐照技术,制备了硅基PMMA/SiO2-ZrO2基有机-无机复合光波导阵列图形,其最小宽度约25μm,厚度约5μm,图形规整、边缘清晰.通光实验表明该波导能够将波长1.53~1.55μm的光限制在波导内,实现光的传输和分束. |
| 关 键 词： | 感光溶胶-凝胶 PMMA 有机-无机复合薄膜 光波导 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |