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上海技术交易所专栏
摘 要:
JT-500型直流、射频磁控溅射设备 直流、射频技术是在80年代美国、西欧、日本等少数国家研制出来,由于属尖端技术,对我国进行禁运设备。我所经过二、三年时间进行研制并生产出样机。样机提供给上海光机所使用,使用情况良好,在1992年还用该设备试制成的光磁盘获上海市科技成果二等奖。
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