自动化仪器仪表在半导体行业的应用趋势

本文针对现阶段自动化仪器仪表的技术状况，结合半导体行业中的应用需求，浅议未来自动化仪器仪表在集成技术．人机对话技术以及可靠性方面的发展趋势。