一种倒装芯片/多层互连结构封装IC的修改方法 |
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引用本文: | 林晓玲,章晓文,高汭.一种倒装芯片/多层互连结构封装IC的修改方法[J].华南理工大学学报(自然科学版),2020,48(12):63-71. |
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作者姓名: | 林晓玲 章晓文 高汭 |
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作者单位: | 工业和信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室, 广东 广州510610;工业和信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室, 广东 广州510610;工业和信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室, 广东 广州510610 |
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基金项目: | 广州市科技计划;广东省重点领域研发计划项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 倒装芯片 封装 多层互连结构 聚焦离子束 电路修改 |
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