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| 静电激励微简支梁吸合电压的尺度效应分析 | |
| 作者姓名： | 丁 楠 徐旭 郑卓群 刘晓波 |
| 作者单位： | 1. 吉林大学 数学学院, 长春 130012; 2. 吉林财经大学 管理科学与信息工程学院， 长春 130117；3. 吉林大学 公共外语教育学院， 长春 130012 |
| 摘 要： | 应用修正的偶应力理论及变分原理推导带有von-Karman非线性的微简支梁的运动方程及相应的边界条件,并分析梁的宽度、高度、长度和极板间距对吸合电压的影响以及相应的尺度效应变化规律. |
| 关 键 词： | 修正偶应力理论 吸合电压 特征尺度参数 微机电系统 尺度效应 |
| 收稿时间： | 2016-12-13 |
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