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静电激励微简支梁吸合电压的尺度效应分析
引用本文:丁 楠,徐旭,郑卓群,刘晓波.静电激励微简支梁吸合电压的尺度效应分析[J].吉林大学学报(理学版),2017,55(5):1146-1150.
作者姓名:丁 楠  徐旭  郑卓群  刘晓波
作者单位:1. 吉林大学 数学学院, 长春 130012; 2. 吉林财经大学 管理科学与信息工程学院, 长春 130117;3. 吉林大学 公共外语教育学院, 长春 130012
摘    要:应用修正的偶应力理论及变分原理推导带有von-Karman非线性的微简支梁的运动方程及相应的边界条件,并分析梁的宽度、高度、长度和极板间距对吸合电压的影响以及相应的尺度效应变化规律.

关 键 词:修正偶应力理论    吸合电压    特征尺度参数    微机电系统    尺度效应  
收稿时间:2016-12-13
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