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| 沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响 | |
| 作者姓名： | 徐强 杨光敏 秦宏宇 白继鹏 |
| 作者单位： | 1. 长春工程学院 勘查与测绘工程学院, 长春 130022； 2. 长春师范大学 物理学院, 长春 130032；3. 吉林大学 材料科学与工程学院, 长春 130012 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜, 研究温度对VC薄膜的微观结构、 力学及摩擦磨损性能的影响, 并分析其内在关系. 结果表明, 沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小, 有利于降低薄膜中的应力和粗糙度, 可提高薄膜的硬度. |
| 关 键 词： | 基底温度 薄膜 摩擦学性能 碳化钒纳米薄膜 |
| 收稿时间： | 2015-10-14 |
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