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| 吸附尿素的多孔硅结构电性质研究 | |
| 引用本文： | 李怀祥,薛亮,陈鲁生,崔洪泰.吸附尿素的多孔硅结构电性质研究[J].山东师范大学学报(自然科学版),2008,23(3). |
| 作者姓名： | 李怀祥 薛亮 陈鲁生 崔洪泰 |
| 作者单位： | 山东师范大学化学化工与材料科学学院,济南250014 |
| 摘 要： | 电阻率为15～20Ωcm n型单晶硅在氢氟酸-乙醇溶液中通过光电化学阳极氧化刻蚀后，再经过光氧化处理得到稳定化的多孔硅（pmoussilicon，PS）．在PS结构基础上通过真空蒸镀金属铝（Al）层形成Al／PS／Si／Al纵向结构和PS两端镀铝的Al-PS-Al横向结构．利用多孔硅高比表面积对不同浓度尿素进行吸附后，得到Al/PS-urea／Si／Al or Al-PS-urea-Al结构．研究了上述两种结构的电流电压的半对数关系，结果表明lg I-V曲线与被吸附尿素的含量呈递减关系，浸泡Ps的尿素溶液浓度在1μg·ml^-1-1mg·ml^-1范围内呈线性递减关系．基于这两种结构的多孔硅器件有望实现对尿素的传感． |
| 关 键 词： | 多孔硅 尿素 光电化学 传感器 |
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