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磁控溅射制作铝电解用惰性阳极
引用本文:郭兴龙,杨百梅,薛成山,刘亦安.磁控溅射制作铝电解用惰性阳极[J].山东理工大学学报,2004,18(1):92-95.
作者姓名:郭兴龙  杨百梅  薛成山  刘亦安
作者单位:[1]山东师范大学半导体研究所,山东济南250014 [2]淄博职业学院,山东淄博255012
基金项目:山东省中青年科学家奖励基金(2001),国家自然科学基金(50374045)
摘    要:利用磁控溅射的方法,在Ni基体上形成致密的氧化物薄膜,用做铝电解实验的惰性阳极.用X射线衍射(XRD)分析、电子显微(SEM)分析,对实验前后薄膜的成分、形貌进行了定性分析和观察.实验结果表明:薄膜纳米尺寸的微小颗粒紧密排布;在960℃冰晶石熔盐电解质中,试样电极具有良好的耐腐蚀性能.

关 键 词:磁控溅射    电解  惰性阳极  纳米颗粒  氧化物薄膜
文章编号:1672-6197(2004)01-0092-04
修稿时间:2003年10月15

Preparation of inert anode in aluminium electrolysis by magnetron sputtering
GUO Xinglong,YANG Bai-mei,XUE Chengshan,LIU Yian.Preparation of inert anode in aluminium electrolysis by magnetron sputtering[J].Journal of Shandong University of Technology:Science and Technology,2004,18(1):92-95.
Authors:GUO Xinglong  YANG Bai-mei  XUE Chengshan  LIU Yian
Institution:GUO Xinglong~1,YANG Bai-mei~2,XUE Chengshan~1,LIU Yian~1
Abstract:
Keywords:magnetron sputtering  inert anode  nanometer particles  aluminium electrolysis
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