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| 加快发展国产光刻设备面临的问题与建议 | |
| 引用本文： | 张缨.加快发展国产光刻设备面临的问题与建议[J].中国科技成果,2002(17):21-23. |
| 作者姓名： | 张缨 |
| 作者单位： | 中国科技促进发展研究中心 |
| 摘 要： | "十五"期间,集成电路产业是国家重点发展的战略产业,集成电路设备是其中的重要环节.笔者在对信息产业部唯一一家研制和生产集成电路设备的专业科研机构调研的基础上,针对我国集成电路设备发展面临的问题,在广泛深入探讨的基础上,提出了大量建议. |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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