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| 扫描电镜电子束纳米刻蚀 | |
| 引用本文： | 鲁武,沈浩瀛.扫描电镜电子束纳米刻蚀[J].东南大学学报(自然科学版),1994,24(1):117-119. |
| 作者姓名： | 鲁武 沈浩瀛 |
| 作者单位： | 东南大学分子与生物分子电子学实验室，南京电子器件研究所 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | SEM 电子束 刻蚀 VLSI 纳米量级 |
Nanometer Lithography by SEM Electron Beams |
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| Lu Wu,Gu Ning,Lu Zuhong,Wei Yu.Nanometer Lithography by SEM Electron Beams[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),1994,24(1):117-119. | |
| Authors: | Lu Wu Gu Ning Lu Zuhong Wei Yu |
| Abstract: | |
| Keywords: | electron beams scanning electron microscope lithography |
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