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| 激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响 | |
| 作者姓名： | 胡雪林 曹宇 李峰平 |
| 作者单位： | 温州大学机电工程学院,浙江温州325035 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（51005083;51375348）;温州市重点创新团队项目（C20120002） |
| 摘 要： | 以加工焦深限制范围内的倾斜平面模型来模拟工件表面的微观不平坦状况，对激光束以一定倾角入射工件表面的光斑畸变及其对刻蚀质量的影响开展了理论和实验方面的初步探索．结果表明，随着激光束入射方向与工件表面法向的夹角（简称入射角）的增大，光斑畸变量也越来越大，振镜沿水平路径扫描的刻蚀线宽始终比竖直路径的大，刻蚀线长始终比竖直路径的小；相对于水平刻蚀路径，竖直刻蚀路径刻槽的任意位置经历的激光辐照时间更长，物质蒸发、重熔更充分，刻槽更深，金属重铸层更厚，刻槽的侧壁和底部形貌更为平整光滑． |
| 关 键 词： | 振镜扫描 激光刻蚀 光斑畸变 焦深 光束入射角 |
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