| 低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析 |
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| 引用本文： | 朱目成,夏季,马德毅,刘强,孟念湘,徐培君.低g值硅压阻式加速度传感器的设计与分析[J].西南科技大学学报,1999(1). |
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| 作者姓名： | 朱目成 夏季 马德毅 刘强 孟念湘 徐培君 |
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| 作者单位： | 西南工学院，中国工程物理研究院四所５０４所 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院院外科学基金 |
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| 摘 要： | 本文介绍一种低ｇ值双悬臂梁式硅压阻式加速度传感器新结构，通过理论分析与计算，说明该结构的硅压阻式加速度传感器具有良好的输出性能。
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| 关 键 词： | 传感器 加速度传感器 压阻式传感器 |
ANALYSIS AND DESIGN OF A NEW TYPE PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER |
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| Zhu Mucheng,Xia Ji,Ma Deyi.ANALYSIS AND DESIGN OF A NEW TYPE PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER[J].Journal of Southwest University of Science and Technology,1999(1). |
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| Authors: | Zhu Mucheng Xia Ji Ma Deyi |
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| Institution: | Zhu Mucheng Xia Ji Ma Deyi(Southwest Institute of Technology)Liu Qiang Mong Nianxiang Xu Peijun (CRDC-4) (CEAP-4) |
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| Abstract: | A double beam structure piezoresistive accelerometer is presented in this paper, it is prove that the accelerometer has high output properties through theoretical analysis and calculation. |
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| Keywords: | Sensor Accelerometer Piezoresistive sensor |
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