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Au/(Si/SiO_2超晶格)/p型Si结构的可见电致发光研究
引用本文:马书懿. Au/(Si/SiO_2超晶格)/p型Si结构的可见电致发光研究[J]. 兰州大学学报(自然科学版), 2001, 37(3)
作者姓名:马书懿
作者单位:西北师范大学物理系;学物理科学与技术学院,
基金项目:国家博士后基金 ( 9557),暨甘肃省教委科研基金 ( 981- 17)资助项目
摘    要:采用磁控溅射技术制备了 Si/ Si O2 超晶格薄膜 ,在正向偏压大于 4 V即可观测到了来自Au/ ( Si/ Si O2 超晶格 ) / p - Si结构在室温下的可见电致发光 .认为光发射主要来自于 Si O2 层中的发光中心上的复合发光 ,对实验结果进行了解释 .

关 键 词:超晶格  电致发光  发光中心

A Study of Visible Electroluminescence from Au/(Si/SiO_2 superlattices)/p-Si Structure
Abstract:Si/SiO 2 superlattices are prepared by using the magnetron sputtering technique. Visible electroluminescence(EL) can be observed from Au film/ (Si/SiO 2 superlattices)/p type Si structures at a forward bias above 4 V. The experimental results have been explained with that light emission originating mainly from the luminescence centre in the SiO 2 layers.
Keywords:superlattice  electroluminescence  luminescence center
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