| 溅射薄膜拉力传感器设计及性能分析 |
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| 引用本文： | 张恩凤,李永红,岳凤英.溅射薄膜拉力传感器设计及性能分析[J].科学技术与工程,2017,17(4). |
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| 作者姓名： | 张恩凤 李永红 岳凤英 |
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| 作者单位： | 中北大学,中北大学,中北大学 |
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| 摘 要： | 针对热真空环境下的拉力检测,研制了一种基于薄膜溅射工艺的双冗余拉力传感器。主要对溅射薄膜拉力传感器的弹性体结构和应变电阻布局进行了分析设计。针对传感器的零点输出误差设计了零点补偿电路;并对传感器的稳定性处理工艺进行了研究。最终,通过对传感器进行热真空试验,验证了该设计的合理性。实验结果表明,该拉力传感器可在-45℃~+90℃范围内正常工作,灵敏度为13.02 m V/k N,精度高于6‰。
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| 关 键 词： | 溅射薄膜 拉力传感器 零点补偿 稳定性处理 热真空 |
| 收稿时间： | 2016/7/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/9/23 0:00:00 |
Design and performance analysis of sputtering thin-film tension sensor |
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| Institution: | North University of China,North University of China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sputtering thin-film tension sensor zero compensation disposal of stability thermal vacuum |
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