四极电场质谱杆漏仪

本文提出了一种新型的质谱杆漏仪。在这种杆漏仪中用四极电场质谱计管作为灵敏元件。它是一种纯电场的质谐计,不需笨重而昂贵的磁铁;同时又具有许多其他类型的电质谱计所没的优点。这种杆漏仪可使用多种探索气体,借助于一个电参量的改变可方便的由一种气体转换到零一种气体。用钯管及石英薄膜漏孔对杆漏仪进行了校核,因此杆漏仪不但能定性的决定漏孔的位置而且能定量的决定漏孔的大小。全文共包括三部分。第一部份分析了四极电场质普计管用于杆漏时的特点,提出了分析场电压单边输入的方法,从而大大简化了管子的结构和线路问题。设计并试验了多种结构的质谐计管,最后定型的质谱计管灵敏度达到10~(-3)α/τ。第二部份介绍了实验装置,其中重点介绍了用于杆漏仪校核的两种标准漏孔:透氢的钯管及透氦的石英漏孔。钯管的透氢量可从10~(-1)τι/秒到10~(-10)τι/秒内自由调变。石英漏孔的透氦量可在10~(-5)～10~(-9)τι/秒内变化。第三部份研究了杆漏特性,给出了各种因素对杆漏灵敏度的影响以及进一步提高的途径。杆漏仪目前的杆漏灵敏度高于1×10~(-9)τι/秒。