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| MEMS科研团队取得重要科研成果 | |
| 摘 要： | 正甘肃省科学院传感技术研究所MEMS(微机电系统)科研团队成功研制出高性能自旋阀,磁阻变化率MR稳定达到6%,高于产品级传感器芯片的要求(MR达到3-4,即可进行器件的研制),并可进行小批量生产。自旋阀(SV)是GMR传感器实现物理量-磁-电信号转化功能的主体,是GMR传感器的核心技术。这标志着传感技术研究所磁性传感器的研制达到国际领先的水平,并 |
| 关 键 词： | 科研团队 微机电传感器 技术研究所 磁性传感器 自旋阀 微机电系统 生物传感器 甘肃省科学院 转化功能 高性能 |
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