SnO_2薄膜的物理特性 |
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引用本文: | 李谟介,袁克旭.SnO_2薄膜的物理特性[J].华中师范大学学报(自然科学版),1985(3). |
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作者姓名: | 李谟介 袁克旭 |
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作者单位: | 华中师范大学应用物理研究所
(李谟介),华中师范大学物理系(袁克旭) |
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摘 要: | 采用化学蒸淀法,当淀积温度为300—500℃时,SnO_2薄膜的膜电阻可低达35—45Ω/□,可见光光谱透过率可大于85%.这种薄膜的电学与光学特性,与其结晶状况有着密切的对应性,膜的结晶程度越高,其导电性越强,随着晶粒的细化,其可见光透过率则会显著地提高.
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