| AuSi 液态金属离子源 |
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| 引用本文： | 董桂芳,康文运,应根裕,汪健如.AuSi 液态金属离子源[J].清华大学学报(自然科学版),1997(9). |
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| 作者姓名： | 董桂芳 康文运 应根裕 汪健如 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系 |
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| 基金项目： | 国家“八六三”高技术项目 |
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| 摘 要： | 为了进行Ｓｉ聚焦离子束微细加工技术的研究，研制了ＡｕＳｉ液态金属离子源制备设备及其分析设备，制成了实用化的ＡｕＳｉ合金源，得到了制备该合金源的成熟工艺，利用Ｅ×Ｂ质量分离器分离出Ａｕ和Ｓｉ离子束，对源的一些特性如电流—电压曲线、加热功率—发射电流曲线、束流质谱及源的寿命作了分析。该源结构采取同轴针型，合金槽的材料为钼，发射尖为钨丝。源正常工作时的加热方式为间接加热式。该源与带质量分离器的聚焦离子束系统结合，将迈开亚微米Ｓｉ离子束加工的第一步。并为今后研究其它合金源提供经验。
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| 关 键 词： | 液态金属离子源 离子源 聚焦离子束 微细加工 |
AuSi liquid metal ion source |
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| Dong Guifang,Kang Wenyun,Ying Genyu,Wang Jianru Electronic and Engineering.AuSi liquid metal ion source[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1997(9). |
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| Authors: | Dong Guifang Kang Wenyun Ying Genyu Wang Jianru Electronic and Engineering |
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| Institution: | Dong Guifang,Kang Wenyun,Ying Genyu,Wang Jianru Electronic and Engineering Department,Tsinghua University,Beijing 100084 |
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