纳电子器件的纳米碳管构成技术进展 |
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引用本文: | 张亚非.纳电子器件的纳米碳管构成技术进展[J].科学,2004,56(4):19-21. |
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作者姓名: | 张亚非 |
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作者单位: | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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摘 要: | 电子信息技术是当前世界重大科技需求中最具重要性、创新性及高科技属性的研究领域,当今发达国家国民生产总值增长的很大部分与电子产业有关。半导体集成电路器件工业的增长速率一般为GDP增长的几倍,在21世纪内可能成为全球的第一产业。半导体集成电路的发展方向是尺寸更小,从而使运行速度更
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关 键 词: | 纳电子器件 纳米碳管 技术进展 制造材料 纳米碳管场效应 |
The Developments in Carbon Nanotube Devices |
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