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集成电路碳纳米管互连建模与特性研究
作者姓名:唐旻  吴林晟  李晓春  毛军发
作者单位:上海交通大学高速电子系统设计与电磁兼容研究教育部重点实验室
摘    要:近年来,基于碳基材料的纳米尺度互连方案得到了人们的广泛关注,为下一代集成电路的互连技术提供了一种全新的解决途径.基于国内外在碳纳米互连建模和特性研究方面的进展,并结合本课题组取得的相关成果,对集成电路碳纳米管互连的等效电路建模、时延特性以及热特性进行了系统的分析,并与传统铜互连进行了全面比较.最后对具有实用前景的碳纳米异质互连技术进行了简要介绍和展望.

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