| MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究 |
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| 引用本文： | 刘勇,许晓慧,李保庆,张晋弘,褚家如. MEMS微变形镜单元间耦合的优化控制研究[J]. 中国科学技术大学学报, 2010, 40(4). DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2010.04.011 |
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| 作者姓名： | 刘勇 许晓慧 李保庆 张晋弘 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027 |
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| 摘 要： | 通过计算MEMS微变形镜校正畸变波面后的残余误差,研究不同单元间耦合情况对变形镜校正效果的影响.针对连续镜面MEMS微变形镜单个致动器单元工作时,相邻及以外的单元都会有一个变形量,用耦合系数来表征单元工作时对相邻单元变形量的影响程度.以单元间距为3mm的10×10单元阵列MEMS微变形镜为例,研究了变形镜校正不同畸变波面时,最佳耦合系数与波面畸变因素对应关系.当校正对象为前20阶Zernike多项式波面,此变形镜的最佳耦合系数为10%.分析了单元间距分别为2,2.5,3,3.5,4mm时,10×10单元阵列MEMS微变形镜校正效果的变化情况;不同单元间距对应的最佳耦合系数分别为12%,11%,10%,9%,8%.
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| 关 键 词： | 变形镜 影响函数 耦合系数 |
Coupling control of actuators for MEMS-based deformable mirror |
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| LIU Yong,XU Xiaohui,LI Baoqing,ZHANG Jinhong,CHU Jiaru. Coupling control of actuators for MEMS-based deformable mirror[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2010, 40(4). DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2010.04.011 |
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| Authors: | LIU Yong XU Xiaohui LI Baoqing ZHANG Jinhong CHU Jiaru |
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| Affiliation: | LIU Yong,XU Xiaohui,LI Baoqing,ZHANG Jinhong,CHU Jiaru(Department of Precision Machinery , Precision Instrumentation,University of Science , Technology of China,Hefei 230027,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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