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杂志ISSN号
薄膜的晶格失配应力分析
作者姓名:
吕建国
王成彪
于翔
付志强
作者单位:
中国地质大学(北京)工程技术学院 北京100083
摘 要:
随着薄膜的应用范围愈来愈广,薄膜内应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到十分重要的作用。本文在研究薄膜内应力与应变关系的基础上,通过建立力学模型,给出晶格失配应变和应力,并讨论了失配位错应力及允许产生位错的薄膜临界厚度。
关 键 词:
薄膜
应变
应力
晶格失配
位错
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