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| 周期性微结构的纳秒激光四光束干涉烧蚀研究 | |
| 引用本文： | 王磊,曹小文,李乾坤,陈岐岱,孙洪波.周期性微结构的纳秒激光四光束干涉烧蚀研究[J].科学通报,2016(6):616-621. |
| 作者姓名： | 王磊 曹小文 李乾坤 陈岐岱 孙洪波 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点联合实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61137001,91423102,91323301);国家重点基础研究发展计划(2011CB013000,2014CB921302);新世纪优秀人才计划(12-0235)资助 |
| 摘 要： | 多光束干涉是一种快速制备大面积周期性微纳结构的简易方法.本文基于四光束干涉烧蚀技术,利用纳秒激光在硫化锌衬底上无掩模烧蚀制备大面积的结构阵列;并详细研究了结构形貌随曝光时间的演化规律;利用四光束干涉理论,重点研究了四光束干涉时角度误差引起的相移对于结构类型的影响;结合我们近几年的研究工作,讨论多光束干涉烧蚀面临的挑战及展望. |
| 关 键 词： | 激光烧蚀 四光束干涉 相移 |
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