| e型枪热蒸法制备的非化学计量ZnO薄膜的结构性能 |
| |
| 引用本文： | 王其和. e型枪热蒸法制备的非化学计量ZnO薄膜的结构性能[J]. 南京大学学报(自然科学版), 1996, 32(3): 410-413 |
| |
| 作者姓名： | 王其和 |
| |
| 作者单位： | 南京大学物理系 |
| |
| 摘 要： | 采用ｅ型电子枪热蒸技术，在不同条件下成功地制备了不同Ｏ／Ｚｎ比的非化学计量ＺｎＯ薄膜。利用系列物理手段，如ＸＰＳ，ＸＲＤ法对其结构性能进行了分析。结果表明，选择适当的基底温度及热处理温度可获得物理性能很好的非化学计量的ＺｎＯ薄膜。
|
| 关 键 词： | 基底 退火 温度 非化学计量 薄膜 e型枪热蒸法 |
STRUCTURAL PROPERTIES OF NON-STOICHIOMETRIC ZINC OXIDE FILMS DEPOSITED BY E-BEAM EVAPORATION TECHNIQUE |
| |
| Wang Qihe. STRUCTURAL PROPERTIES OF NON-STOICHIOMETRIC ZINC OXIDE FILMS DEPOSITED BY E-BEAM EVAPORATION TECHNIQUE[J]. Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed, 1996, 32(3): 410-413 |
| |
| Authors: | Wang Qihe |
| |
| Abstract: | In this paper, we discuss the effects of various temperatures of substrates and annealings on the structural properties of non-stoichiometric zinc oxide films. |
| |
| Keywords: | Temperatures of substrates and annealings Non-stoichiometric films e-beam evaporation technique |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
