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低功率氦微波诱导等离子体的基本特性
引用本文:张寒琦,张金生,等.低功率氦微波诱导等离子体的基本特性[J].吉林大学自然科学学报,1993(1):105-109.
作者姓名:张寒琦  张金生
作者单位:[1]吉林大学化学系,长春130023 [2]抚顺石油学院应用化学系
摘    要:对低功率He微波诱导等离子体的产生及Surfatron的调节特性进行了较详细的研究,在此基础上,用超声雾化法引入样品,测定了非金属元素Cl和Br,得到一些有意义的结果。

关 键 词:微波诱导  等离子体  氟化物  溴化物
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