用HF—醇溶液法制备多孔硅的新方法

本文采用HF－醇溶液法制备了多孔硅，实验表明，它提高了多孔硅中的游离氟离子浓度，改善了电解液与硅片的润湿性，有利于形成均匀的多孔硅，在非光照条件下，可制成N型多孔硅。