| 稀土硅化物的制备及红外吸收光谱 |
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| 引用本文： | 程兴奎,王家俭,刘汝军,于慧.稀土硅化物的制备及红外吸收光谱[J].山东大学学报(理学版),1997(2). |
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| 作者姓名： | 程兴奎 王家俭 刘汝军 于慧 |
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| 作者单位： | 山东大学光电材料与器件研究所，山东大学物理系，山东大学实验中心 |
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| 摘 要： | 报导了由射频溅射制备稀土（Ｙ）硅化物薄膜．样品的红外吸收光谱中，在８６５ｃｍ－１有一个强吸收峰，而在４６２ｃｍ－１有一个弱吸收峰．样品进行高温退火后，强吸收峰基本没有变化，而弱吸收峰随退火温度的升高而增强．我们认为强吸收峰是ＹＳｉ２的键振动吸收，而弱峰是ＹＳｉ的键振动吸收
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| 关 键 词： | 溅射 稀土硅化物 红外吸收 |
RESEARCH OF MODIFIED SrTiO 3 CAPACITOR CERAMIC |
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| Shi,Wei.RESEARCH OF MODIFIED SrTiO 3 CAPACITOR CERAMIC[J].Journal of Shandong University,1997(2). |
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| Authors: | Shi Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Capacitor Ceramics Formulation Technology Dielectric Constant |
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