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| KDP晶体潮解抛光表面质量的模拟分析 | |
| 引用本文： | 郭少龙,刘佳航,李阳,徐泽林,晏祖根.KDP晶体潮解抛光表面质量的模拟分析[J].佳木斯大学学报,2024(2):76-79. |
| 作者姓名： | 郭少龙 刘佳航 李阳 徐泽林 晏祖根 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨商业大学轻工学院;2. 哈尔滨电气集团佳木斯电机股份有限公司 |
| 摘 要： | 通过运动学分析，得到了KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动方程。分别绘制了载样盘转数、载样盘圆心与抛光垫圆心之间的水平距离、载样盘圆心与其摆动圆心之间的水平距离、摆动周期取不同值时KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的运动轨迹仿真图形，得到了这些参数对KDP晶体抛光表面质量的影响规律，并据此确定了这些参数的优化方向。 |
| 关 键 词： | KDP晶体 抛光 潮解 表面质量 |