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射频溅射金属前驱体硫化法制备的Cu_2ZnSnS_4薄膜(英文)
引用本文:张军,付玉军,邵栋,邵乐喜.射频溅射金属前驱体硫化法制备的Cu_2ZnSnS_4薄膜(英文)[J].中山大学学报(自然科学版),2007(Z1).
作者姓名:张军  付玉军  邵栋  邵乐喜
作者单位:湛江师范学院物理科学与技术学院,兰州大学物理科学与技术学院,浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,湛江师范学院物理科学与技术学院 广东湛江524048兰州大学物理科学与技术学院,甘肃兰州730000,甘肃兰州730000,浙江杭州310027,广东湛江524048
基金项目:国家自然科学基金资助项目(10574106)
摘    要:采用射频溅射技术沉积Cu/Sn/Zn金属前驱体叠层结合硫化技术在玻璃衬底上成功制备了Cu2ZnSnS4薄膜。X-射线衍射分析表明,通过优化制备条件可以获得单一黝锡矿结构且具有(221)择优取向的Cu2ZnSnS4薄膜。霍尔效应和紫外可见透过谱测量表明,样品的薄膜电阻、吸收系数和光学带隙分别达到0.073Ω.cm,104cm-1和1.53eV,具有适合作为薄膜太阳电池吸收层应用的可能性。

关 键 词:Cu2ZnSnS4薄膜  太阳电池  射频磁控溅射

The Stannite Cu_2ZnSnS_4 Thin Films Prepared by Sulfurization of rf Magnetron Sputtered Metal Precursors
ZHANG Jun,FU Yujun,SHAO Dong,SHAO Lex.The Stannite Cu_2ZnSnS_4 Thin Films Prepared by Sulfurization of rf Magnetron Sputtered Metal Precursors[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2007(Z1).
Authors:ZHANG Jun    FU Yujun  SHAO Dong  SHAO Lex
Institution:ZHANG Jun1,2,FU Yujun2,SHAO Dong3,SHAO Lex1
Abstract:
Keywords:Cu2ZnSnS4  thin film  solar-cell  rf magnetron sputtering  
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