| 多孔硅的电化学形成及微结构研究 |
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| 引用本文： | 张乐欣,李志全,李葵英.多孔硅的电化学形成及微结构研究[J].燕山大学学报,2006,30(2):177-180. |
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| 作者姓名： | 张乐欣 李志全 李葵英 |
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| 作者单位： | 1. 燕山大学,材料科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004
2. 燕山大学,电气工程学院,河北,秦皇岛,066004 |
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| 摘 要： | 采用自制的电解池用电化学腐蚀方法制备多孔硅，使用正交试验法设计阳极腐蚀参数。使用原子力显微镜研究多孔硅的微结构，分析并讨论了实验参数对多孔硅微结构的影响，确定了最佳制备工艺。
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| 关 键 词： | 多孔硅 微结构 原子力显微镜 |
| 文章编号： | 1007-791X(2006)02-0177-04 |
| 修稿时间： | 2005年5月11日 |
Electrochemical fabrication and microstructure study of porous silicon |
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| ZHANG Le-xin,LI Zhi-quan,LI Kui-ying.Electrochemical fabrication and microstructure study of porous silicon[J].Journal of Yanshan University,2006,30(2):177-180. |
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| Authors: | ZHANG Le-xin LI Zhi-quan LI Kui-ying |
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| Abstract: | Porous silicon (PS) was prepared by the electrochemical etching technique with self-made cell. The orthogonal experimental method is adopted to design anodization parameters. The microstructure of PS is studied by using atomic force microscopy (AFM). The effect of anodization conditions on the microstructure of PS has been analysed and discussed. Finally the fabrication conditions were optimized. |
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| Keywords: | porous silicon microstructure atomic force microscope |
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