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| 半导体器件中金属化系统的失效模式 | |
| 引用本文： | 蒲耀川.半导体器件中金属化系统的失效模式[J].甘肃科技纵横,2006,35(6):48-48,16. |
| 作者姓名： | 蒲耀川 |
| 作者单位： | 天水天光半导体有限责任公司,甘肃,天水,741000 |
| 摘 要： | 阐述了半导体器件中金属化系统的失效模式和机理,提出了为消除金属化系统失效模式和提高金属化系统可靠性而采取的措施。 |
| 关 键 词： | 金属化系统 可靠性 失效模式 电迁移 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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