| 超精加工分析用宽范围原子力显微镜的研究 |
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| 引用本文： | 张鸿海,张华书,师汉民,陈日曜. 超精加工分析用宽范围原子力显微镜的研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1997, 0(1) |
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| 作者姓名： | 张鸿海 张华书 师汉民 陈日曜 |
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| 作者单位： | 机械科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金,国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 介绍了一种用于超精加工分析用的宽范围原子力显微镜．其垂直方向和水平方向的分辨率可达ｎｍ级，测量范围可达１４０μｍ×１４０μｍ．采用了探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了这种测量方法的工程应用范围．给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光陶瓷的轮廓形貌的测量结果．
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| 关 键 词： | 超精密加工；金刚石刀具钝圆半径；宽范围原子力显微镜 |
An Atomic Force Microscope with Wide Range Scanning for Superfinishing Analysis |
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| Zhang Honghai Zhang Huashu Shi Hanmin Chen Riyao. An Atomic Force Microscope with Wide Range Scanning for Superfinishing Analysis[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1997, 0(1) |
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| Authors: | Zhang Honghai Zhang Huashu Shi Hanmin Chen Riyao |
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| Affiliation: | Zhang Honghai Zhang Huashu Shi Hanmin Chen Riyao |
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| Keywords: | superfinishing (microstoning) edge radius of diamond tool atomic force microscope with wide range scanning |
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