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| 空心热阴极离子镀氮化钛涂层技术的研究 | |
| 作者姓名： | 陈宝清 朱英臣 王斐杰 王玉魁 王绍庭 |
| 作者单位： | 大连工学院机械系离子镀科研组(陈宝清，朱英臣，王斐杰，王玉魁)，大连工学院机械系离子镀科研组(王绍庭) |
| 摘 要： | 本文主要研究钛蒸发速率的影响因素和氮分压对涂层的影响。增加坩埚处聚焦线 圈电流，蒸发速率明显提高，缩小坩埚尺寸及其传热面积也能提高蒸发速率。氮分压 是决定涂层相结构和相组成的主要因素，并影响涂层中相的相对数量，从而影响涂层 硬度和颜色。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |