| 甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响 |
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| 引用本文： | 毕冬梅,赵利军,王丽丽.甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响[J].长春大学学报,2006,16(6):31-33. |
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| 作者姓名： | 毕冬梅 赵利军 王丽丽 |
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| 作者单位： | 长春大学,理学院,吉林,长春,130022,长春大学,特殊教育学院,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，2002AA325090， |
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| 摘 要： | 采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量.使用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征.
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| 关 键 词： | 金刚石膜 甲烷浓度 膜的质量 |
| 文章编号： | 1009-3907(2006)06-0031-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月21日 |
Influence of methane concentration on the growth of large area diamond film |
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| BI Dong-mei,ZHAO Li-jun,WANG Li-li.Influence of methane concentration on the growth of large area diamond film[J].Journal of Changchun University,2006,16(6):31-33. |
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| Authors: | BI Dong-mei ZHAO Li-jun WANG Li-li |
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