| 用于微区阻抗测量的STM探针的制备 |
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| 引用本文： | 吴迪,丁喜冬,杨森,张进修.用于微区阻抗测量的STM探针的制备[J].中山大学学报(自然科学版),2005,44(Z2):170-173. |
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| 作者姓名： | 吴迪 丁喜冬 杨森 张进修 |
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| 作者单位： | 中山大学物理学系,广东,广州,510275 |
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| 基金项目： | 广东省纳米专项基金，广东省广州市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 基于扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope, STM)的新型扫描阻抗显微镜(scanning impedance microscope, SIM)可以对绝缘电介质表面的阻抗性质进行测量,但由于传统STM针尖不适用于这种模式,需要制备新型的探针.介绍了利用电化学腐蚀法制备SIM针尖的工艺,研究了制备过程中各种条件的控制对针尖质量的影响.根据实验结果,对切断时间的控制效果提出了与以往经验不同的看法.最后通过实验分析了适用于阻抗性质扫描的针尖特点,认为适用于阻抗扫描的针尖其曲率半径应在100～200 nm之间,且具有小的纵横比和一级新月结构.
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| 关 键 词： | 电化学腐蚀 扫描阻抗显微镜(SIM) 探针 扫描隧道显微镜(STM) |
| 文章编号： | 0529-6579(2005)S2-0170-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月12日 |
Preparation of Tips for Measuring Impedance in Micro-area with STM |
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| WU Di,DING Xi-dong,YANG Sen,ZHANG Jin-xiu.Preparation of Tips for Measuring Impedance in Micro-area with STM[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2005,44(Z2):170-173. |
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| Authors: | WU Di DING Xi-dong YANG Sen ZHANG Jin-xiu |
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