不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较 |
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引用本文: | 侯娟,宋春燕.不同衬底上CSS法制备的CdTe薄膜结构比较[J].科技信息,2009(27):13-14. |
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作者姓名: | 侯娟 宋春燕 |
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作者单位: | 石河子大学师范学院物理系;新疆大学物理与科学技术学院; |
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基金项目: | 石河子大学立项课题(ZRKX200732)资助 |
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摘 要: | 采用近距离升华法(css)分别在Si、ITO/玻璃、普通玻璃三种衬底上沉积了CdTe多晶薄膜,通过X射线衍射(XRD)分析,比较了它们的微结构。结果表明,用Si作为衬底沉积的CdTe具有很强(111)面择优取向。通过对不同衬底上沉积的CdTe薄膜(111)峰择优取向的研究,发现薄膜的微结构与衬底的结构以及粗糙度有着密切的关系,衬底表面粗糙,成核密度高,沉积的薄膜具有较低的择优取向度。
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关 键 词: | 近距离升华(CSS) X射线衍射(XRD) 衬底 择优取向 |
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