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| MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析 | |
| 引用本文： | 兰之康,唐洁影.MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析[J].科技通讯(上海),2008,14(1):89-92. |
| 作者姓名： | 兰之康 唐洁影 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096 |
| 摘 要： | 多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性. |
| 关 键 词： | MEMS 疲劳 梁 谐振频率 |
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