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| 用溅射法和辉光放电法制出a-Si:H/a-C:H和a-Si:H/a-SiC:H膜超晶格结构 | |
| 引用本文： | 贺德衍 ,徐希翔 ,崔敬忠 ,张仿清 ,陈光华.用溅射法和辉光放电法制出a-Si:H/a-C:H和a-Si:H/a-SiC:H膜超晶格结构[J].兰州大学学报(自然科学版),1986(2). |
| 作者姓名： | 贺德衍 徐希翔 崔敬忠 张仿清 陈光华 |
| 摘 要： | 非晶态半导体“超晶格”是近两年多来研制成功的,为寻求新的半导体材料和器件结构闯出了一个新的领域,因而受到了广泛重视,我们已制出了多种非晶态超晶格膜,对这些材料来说,在国内还是首次。 |
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