D型光纤传感器的飞秒激光加工方法

基于飞秒激光加工系统中二维CCD观测定位的轮廓线方法加工D型光纤,研究离焦量对飞秒激光轮廓线加工质量的影响。研究结果表明:随着聚焦光斑焦平面从光纤的近物镜端逐渐深入光纤,D型光纤加工面沿光传播方向的轮廓倾斜度会变得越来越大。飞秒激光加工方法能够保证加工的一致性。加工的D型光纤有效长度为200μm,从包层顶端到加工面的加工深度为56.4μm,原子力显微镜测得纤芯附近加工表面粗糙度为129 nm。将加工好的D型光纤用于折射率为1.36~1.42的液体传感,测得其传输损耗随折射率线性增大,此D型光纤传感器的单位折射率的传感灵敏度为37 d B。本文的加工方法在提高效率的同时,能够保证D型光纤的加工精度及传感灵敏度。