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基底对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响
引用本文:张仁辉,赵 娟.基底对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响[J].河北科技大学学报,2017,38(3):244-248.
作者姓名:张仁辉  赵 娟
作者单位:;1.铜仁学院材料与化学工程学院
基金项目:国家自然科学基金(51605336);贵州省自然科学基金(KY[2016]009)
摘    要:为了研究不同基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积方法在高速钢、SiC和304不锈钢基底上成功制备了类金刚石薄膜。采用SEM,TEM,Raman测试手段对膜层的微结构进行了表征:SEM表征结果显示膜层总厚度约为6.5μm,而且层与层之间有明显的界面;TEM表征结果显示沉积的膜层为无定型结构;Raman光谱分析显示沉积的薄膜存在明显的G峰和D峰,可以确定沉积的薄膜为类金刚石薄膜。摩擦测试结果显示,基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能具有显著影响,对于不同基底,钢球对偶上均存在明显的转移膜,高速钢基底的磨痕宽度最小,而且沉积在高速钢基底上的类金刚石薄膜具有最低的磨损率,摩擦系数约为0.1。采用Raman光谱对不同基底磨痕表面微结构进行了分析,认为高速钢基底具有最低磨损率可归因于其磨痕的石墨化程度低。研究可为制备具有优异摩擦磨损性能的类金钢石薄膜提供参考。

关 键 词:摩擦学  摩擦系数  类金刚石  Raman  SEM  TEM
收稿时间:2017/3/9 0:00:00
修稿时间:2017/3/24 0:00:00

Effect of substrates on tribological properties of diamond-like carbon coating
ZHANG Renhui and ZHAO Juan.Effect of substrates on tribological properties of diamond-like carbon coating[J].Journal of Hebei University of Science and Technology,2017,38(3):244-248.
Authors:ZHANG Renhui and ZHAO Juan
Abstract:
Keywords:tribology  friction coefficient  diamond-like carbon  Raman  SEM  TEM
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