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一种利用磁控等离子体技术制备低表面能换热管的加工炉

摘要：	属于金属表面改性领域的一种利用物理气相沉积法制备改性换热管的加工炉．主要由炉体、真空系统、供气系统、供电系统和支座所构成；特点是其内壁作沉积过程靶源的炉体是由一个穿过可调激磁线圈的圆筒状结构．可调激磁线圈可沿炉体中心轴线进行往复运动．炉体内设有由滑车支承的并穿过支架中心孔的支架轴．工件安置在管支架的夹环中．炉体的一端设计有进气孔，另一端则设计有与炉体直径相同大小的真空系统接管．
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